热加工工艺

作者：焉皓, 蔡淑娟, 柴宏, 左茜,

关键词：SiC陶瓷, Cu, Ag-Cu复合钎料, 剪切强度,

SiC陶瓷与金属的连接时存在热膨胀系数差异大、残余应力高等问题，影响封装结构的可靠性。首先，采用（Ag72Cu28）88Ti6Ni3Mo3复合钎料对SiC陶瓷与Cu进行钎焊连接，对焊后接头进行微观组织分析发现，在SiC侧的致密反应层厚度达到0.8 μm，实现了SiC陶瓷与钎料的良好反应。焊缝组织相主要有Ag固溶体、Cu固溶体、Cu-Ni-Ti相、Cu-Ti相、Ti-C相和强化相Mo颗粒，还有一些稳定的金属间化合物，如Cu的氧化相以及Ti的氧化相。随后，研究了钎料中不同Ti含量、钎焊工艺参数对接头剪切强度的影响。结果表明：采用（Ag72Cu28）88Ti6Ni3Mo3复合钎料，在930 ℃保温10 min得到的接头剪切强度最高，为79.7 MPa。接头在与焊缝相邻的SiC陶瓷侧形成裂纹源，并向SiC内部扩展，接头强度相对较高。

来源：2026年第9期

《热加工工艺》期刊编辑部

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