热加工工艺

作者：李琳, 楼美琪, 赵小花, 杜军旗, 孙峰,

关键词：TiCrN, 磁控溅射, 氮化学计量比, 电阻率,

采用反应磁控共溅射技术，通过调节转速（0、5、10、20 r/min）制备了具有不同化学计量比的TiCrN涂层材料。研究了氮化学计量比对TiCrN涂层的相组成、微观形貌、结合力以及导电性能的影响。结果表明：TiCrN涂层的氮化学计量比均小于1，并且随着转速的增加而增加；制备的晶体TiCrN涂层颗粒均为纳米级，并且粒径随着氮的化学计量比的增加而变大；TiCrN涂层的结合力与氮的化学计量比变化趋势一致，都随着转速的升高而增加；TiCrN涂层的电阻率的变化为几何缺陷和电子缺陷相互作用的结果，当转速为0 r/min时，薄膜呈现非晶态，电阻率最高，当转速增加到5r/min时，几何缺陷使TiCrN涂层的电阻率仍然很高；当转速为10和20 r/min时，随着氮原子的填补，晶体变形减弱，几何缺陷下降，TiCrN涂层的电阻率均明显下降，电子缺陷使得转速为20 r/min的TiCrN涂层的电阻率比转速为10 r/min的高。

来源：2025年第17期

《热加工工艺》期刊编辑部

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