热加工工艺

作者：陈浩, 曹振亚, 姜志忠, 孙嘉隆,

关键词：短钨纤维, 磁控溅射, Y₂O₃薄膜, 热处理,

采用射频磁控溅射方法在短钨纤维表面制备Y2O3薄膜，薄膜厚度约100 nm。为便于研究，首先采用相同工艺将Y2O3薄膜沉积在钨片上，分别在500、700及900℃热处理1 h，通过扫描电镜、XRD射线衍射手段对薄膜表面形貌及物相变化分析，确定用于镀Y2O3薄膜短钨纤维的热处理温度。结果表明，700、900℃的薄膜均发生破损，而500℃热处理后的薄膜表面完整，相比于未热处理薄膜，结晶度提高。在此基础上，对镀Y2O3薄膜短钨纤维进行500℃热处理，最终在短钨纤维表面制备出了均匀完整、结晶度良好的Y2O3薄膜，为后续W_f/W复合材料制备奠定了工艺基础。

来源：2025年第3期

《热加工工艺》期刊编辑部

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