热加工工艺

作者：马会中, 及元书, 张兰,

关键词：射频等离子体化学气相沉积, 铜基石墨烯薄膜, 力学性能, 温度因素,

采用射频等离子体化学气相沉积设备，以甲烷为气相碳源，以紫铜箔片为基底制备石墨烯薄膜镀层。研究了温度对其力学性能的影响。结果表明：随反应温度的增加，铜基石墨烯薄膜的平均摩擦系数呈下降趋势，其显微硬度与抗腐蚀能力均呈先上升后下降趋势。当温度为750℃时，铜基石墨烯薄膜缺陷度相对达到最低，微观形貌平整性与覆盖率最高，其平均摩擦系数、显微硬度与腐蚀电位分别为0.186、113.6 HV、0.805 V。此时，样品的综合力学性能达到相对最优值。

来源：2025年第2期

《热加工工艺》期刊编辑部

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