热加工工艺

北大核心,JST,WJCI,卓越期刊,

国内刊号:61-1133/TG

国际刊号:1001-3814

热加工工艺杂志2024年第24期:烧结工艺对掺Al增强氮化铝陶瓷基板的显微结构和性能的影响

发布日期:

作者:赵世泽, 林坤吉, 张文铎, 齐于杰, 赵哲,

关键词:AlN陶瓷, 流延成型, 烧结温度, 排胶策略,

选用Y2O3-Al作为烧结助剂,采用流延成型法制备AlN陶瓷。研究了排胶和烧结制度对AlN陶瓷的物相组成、致密度、显微组织、热学及力学性能的影响。结果表明,真空-空气两步排胶法能够减缓排胶过程中Al的氧化,制备的AlN陶瓷第二相孤立分布在三角晶界处,热导率和弯曲强度分别比一步排胶法制备的陶瓷高2.5%和14.8%。随着烧结温度的升高,第二相由YAG转变为Y2O3/Al2O3比较高的YAP,晶格氧含量下降。经过1800℃烧结后,AlN陶瓷的热导率和弯曲强度分别达到了171.23 W·m-1·K-1和(456.77±19.34)MPa。

来源:2024年第24期

《热加工工艺》期刊编辑部

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