热加工工艺

作者：张萌春, 张菊梅, 张腾, 牛立斌, 张国琛,

关键词：直接氮化, 氮化硅, 稀释剂,

通过直接氮化法结合高能球磨制备高α相氮化硅块体。以硅粉为原料，添加不同质量分数的α-Si3N4稀释剂混合冷压制成不同厚度的块体，在1350℃氮化不同时间制备了Si3N4块体，研究了块体硅直接氮化反应合成氮化硅块体的工艺因素，借助XRD检测手段测定氮化产物的物相组成。结果表明：含15%稀释剂（α-Si3N4）、厚度为3 mm的块体硅在流动氮气气氛下，于1350℃保温3 h的氮化效果最佳，氮化产物由3种物相组成，各物相的质量分数为88.7%α-Si3N4、10.2%β-Si3N4、1.1% Si，合成了含高α相的氮化硅块体。本研究结果可为块体高α相氮化硅的高效制备提供实验依据。

来源：2024年第23期

《热加工工艺》期刊编辑部

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