热加工工艺

作者：马文婧, 王进, 郭慧, 吕美妮, 张宏泽, 宋宝林,

关键词：微裂纹, 扩展连通, 晶体相场方法, 微观组织演化,

采用晶体相场方法在纳米尺度下对金属微互连结构界面微裂纹扩展连通过程进行了研究。结果表明：随着温度的升高和演化时间的增加，微裂纹扩展过程中主裂纹长度增大，二次微裂纹数量增多，微裂纹呈“一字形”和“树枝状”生长，微裂纹扩展过程中的连通行为逐渐增多。初始缺口形貌为圆形的微裂纹在扩展过程中主裂纹长度和二次微裂纹出现的时间均比初始缺口形貌为矩形的慢。微裂纹扩展长度随着演化时间和温度的增加逐渐增大；微裂纹扩展速率随着温度的增加而增大，但随着演化时间的增加，呈先增加后减小趋势。温度并不改变原子波动周期，不同温度下微裂纹的扩展只取决于原子扩散速率，与原子间距无关。

来源：2024年第14期

《热加工工艺》期刊编辑部

查看热加工工艺杂志2024年第14期