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国内刊号：61-1133/TG
国际刊号：1001-3814
发布日期:
作者：姚甜, 王新锋, 刘李旭, 向长淑,
关键词：粉末冶金, 靶材, 热压烧结, 热等静压烧结, 放电等离子烧结,
磁控溅射靶材由于沉积速率快、镀膜均匀等优点，已成为各类薄膜材料的首选制备方法。同时薄膜材料的广泛应用使得靶材的需求量逐年增多。近年来，粉末冶金技术在溅射靶材制备中得到了广泛应用。本文对靶材制备中使用的粉末冶金技术进行总结和工艺分析，并阐述热压烧结、热等静压烧结、放电等离子烧结的研究现状，最后探讨靶材制备研究中存在的技术问题和发展趋势。
来源：2024年第7期
《热加工工艺》期刊编辑部
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