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国内刊号：61-1133/TG
国际刊号：1001-3814
发布日期:
作者：李晓伟, 安胜利, 韩沛, 范秀风,
关键词：X射线光电子能谱, 单粒子氩离子及团簇离子枪, 钝化膜, 深度剖析,
通过X射线衍射仪测试了304不锈钢表面钝化膜物相组成物。通过X射线光电子能谱仪中单原子氩离子和团簇离子枪采用不同的电压及不同时间对304不锈钢表面进行刻蚀；分析了电压及时间对304不锈钢表面元素化合态影响。采用深度剖析法检测了钝化膜垂直于样品表面纵深元素分布。结果表明：不锈钢钝化膜外层为铁氧化物，内层为铬氧化物，钝化膜厚度约为120 nm。
来源：2024年第4期
《热加工工艺》期刊编辑部
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