热加工工艺

作者：徐晓伟, 王斐, 冉瑞应, 李军,

关键词：大直径单晶硅, 直拉法, 加热功率, 晶体转速, 坩埚转速, 数值模拟,

基于有限体积法得到单晶炉腔内的温度场，研究加热功率、晶体转速以及坩埚转速对液-固界面的影响。计算结果表明，加热功率对液-固界面及热场影响显著，加热功率的精确控制对于稳定的液-固界面至关重要；在一定范围内，晶体转速的增加会使得液-固界面的位置出现抬升，而坩埚转速对液-固界面的影响不太明显。

来源：2023年第9期

《热加工工艺》期刊编辑部

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