热加工工艺

作者：孙博彤, 殷伯华, 王鹏飞, 刘俊标, 韩立,

关键词：电子束选区熔化, 增材制造, 动态聚焦, 消像散,

为解决电子束增材制造设备加工范围受限、大尺寸工件边缘加工精度下降等问题，对大偏角下电子束的散焦和像散进行研究。采用像差理论对电子束偏转过程中出现的束径增大、形状畸变现象进行分析。本研究搭建控制系统，动态调整聚焦线圈和消像散线圈的电流，即动态聚焦消像散。制作聚焦消像散校正表，使电子束在整个扫描区域内保持小束径。采用二次电子成像方法和EOG（能量梯度函数）评价函数验证校正效果。实验结果表明，动态聚焦消像散能够有效改善束斑质量，校正后电子束在12°偏转以内清晰成像，电子图像EOG值由0.81提升至1。

来源：2022年第21期

《热加工工艺》期刊编辑部

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