热加工工艺

作者：王建波, 王润宇, 张明恩, 苏波泳,

关键词：等离子增强磁控溅射, TiN, TiAlN, E690钢, 摩擦磨损,

采用等离子增强磁控溅射（PEMS）技术在海工用钢E690表面沉积Ti N与Ti Al N涂层。采用划痕仪测量膜基结合力、X射线衍射仪(XRD)分析薄膜物相、摩擦磨损试验机测量摩擦系数、SEM观察磨痕形貌。结果表明：涂层Ti N具有强烈(111)择优取向，Ti Al N择优取向为(200)。Ti N、Ti Al N涂层的平均结合力为35.3、32.9 N;Ti N、Ti Al N涂层后E690钢的摩擦系数分别为0.19、0.11，与E690钢基体相比分别降低了29.6%、59.3%。E690钢试样的磨损机制主要为黏着磨损，涂层后以疲劳磨损为主。涂层后的E690钢具有更好的减摩性、耐磨性，其中沉积Ti Al N涂层的抗磨减摩效果更好。

来源：2022年第14期

《热加工工艺》期刊编辑部

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