热加工工艺

作者：薛晨, 王永胜, 于盛旺, 黑鸿君, 高洁, 马永, 周兵, 吴艳霞,

关键词：TiZrHf合金, MPCVD, 碳化物, 纳米金刚石颗粒, 摩擦磨损,

采用微波等离子化学气相沉积（MPCVD）法，以高纯甲烷和氢气为反应气体，在TiZrHf中熵合金表面碳化-沉积获得碳化物/金刚石涂层。利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损等方法表征了不同甲烷浓度条件下涂层的组织结构、物相组成、硬度及耐磨性能。结果表明，碳化-沉积后涂层的主要成分为金属碳化物和纳米金刚石颗粒，表面硬度明显提升。其中，甲烷浓度为3%时，涂层的表面硬度最高（约660.2 HV），摩擦系数最低，且耐磨性得到极大改善。

来源：2022年第4期

《热加工工艺》期刊编辑部

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